4H-SiC快速外延生长研究
刘斌
学位类型博士
导师孙国胜
2015-05
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词4h-sic 碳化硅 快速外延生长 Fast Epitaxial Growth
学科领域微电子学
公开日期2015-06-02
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26569
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
刘斌. 4H-SiC快速外延生长研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2015.
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