| 外延剥离技术在Ⅲ-Ⅴ族薄膜太阳电池中的应用 | |
| 马静 | |
| Subtype | 硕士 |
| Thesis Advisor | 王晓东 |
| 2015-05-28 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 集成电路工程 |
| Keyword | Iii-v 族薄膜太阳电池 外延剥离技术 衬底转移 直接键合 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Date Available | 2015-06-02 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26541 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 马静. 外延剥离技术在Ⅲ-Ⅴ族薄膜太阳电池中的应用[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015. |
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