| 硅微纳结构热电器件研究 | |
| 祁洋洋 | |
| Subtype | 博士 |
| Thesis Advisor | 杨富华 ; 王晓东 ; 张明亮 |
| 2015-05-31 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 微电子学与固体电子学 |
| Keyword | 金属辅助化学腐蚀法 Si纳米线 热电器件 微纳结构 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Date Available | 2015-06-02 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26535 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 祁洋洋. 硅微纳结构热电器件研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2015. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 毕业论文正文 一般评审版.pdf（4058KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment