| 微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法 | |
| 李玉婷; 张文涛; 李芳 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-07-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Application Date | 2013-05-12 |
| Application Number | CN201410196508.3 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25927 |
| Collection | 光电系统实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李玉婷,张文涛,李芳. 微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的（761KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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