蓝宝石图形衬底晶片及制备方法 | |
王文军; 郭金霞; 赵冀; 王莉; 伊晓燕; 王军喜; 李晋闽 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2014-09-17 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体器件 |
Application Date | 2014-06-25 |
Application Number | CN201410289596.1 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25908 |
Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王文军,郭金霞,赵冀,等. 蓝宝石图形衬底晶片及制备方法. |
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