| 一种高Al组分AlGaN薄膜的制备方法 | |
| 毛德丰; 李维; 王维颖; 金鹏; 王占国 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2014-05-21 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 半导体材料 |
| 申请日期 | 2014-02-19 |
| 申请号 | CN201410056560.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25750 |
| 专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毛德丰,李维,王维颖,等. 一种高Al组分AlGaN薄膜的制备方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
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| 一种高Al组分AlGaN薄膜的制备方法.（457KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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