SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
MEMS振荡器
赵晖; 杨晋玲; 骆伟; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-07-31
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2013-05-15
申请号CN201310178827.7
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25615
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
赵晖,杨晋玲,骆伟,等. MEMS振荡器.
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