| 一种双加热气相外延生长系统 | |
| 胡强; 魏同波; 羊建坤; 霍自强; 王军喜; 曾一平; 李晋闽 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-09-04 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Application Date | 2013-05-15 |
| Application Number | CN201310179053.X |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25613 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 胡强,魏同波,羊建坤,等. 一种双加热气相外延生长系统. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种双加热气相外延生长系统.pdf（675KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment