一种响应度可调的硅光电探测器及其制作方法 | |
黄永光; 朱洪亮 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2013-10-23 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体材料 |
Application Date | 2013-07-05 |
Application Number | CN201310280622.X |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25611 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 黄永光,朱洪亮. 一种响应度可调的硅光电探测器及其制作方法. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
一种响应度可调的硅光电探测器及其制作方法(1295KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment