| 在Si基上制备InP基HEMT的方法 | |
| 李士颜; 周旭亮; 于鸿艳; 李梦珂; 米俊萍; 潘教青 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-06-05 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Application Date | 2013-02-27 |
| Application Number | CN201310061105.3 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25559 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李士颜,周旭亮,于鸿艳,等. 在Si基上制备InP基HEMT的方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 在Si基上制备InP基HEMT的方法.p（488KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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