| 面向片上集成的热电器件制备方法 | |
| 王珍; 祁洋洋; 张明亮; 杨富华; 王晓东 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2014-01-15 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2013-10-23 |
| Application Number | CN201310503144.4 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25499 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王珍,祁洋洋,张明亮,等. 面向片上集成的热电器件制备方法. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 面向片上集成的热电器件制备方法.pdf（1189KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment