一种无结晶体管的电阻测试方法 | |
王昊; 韩伟华; 马刘红; 杨富华 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2014-02-12 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 微电子学 |
Application Date | 2013-10-25 |
Application Number | CN201310511410.8 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25495 |
Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王昊,韩伟华,马刘红,等. 一种无结晶体管的电阻测试方法. |
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