| 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法 | |
| 赵永梅; 季安; 张明亮; 杨香; 宁瑾; 王晓东; 杨富华 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2014-03-19 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 微电子学 |
| 申请日期 | 2013-12-19 |
| 申请号 | CN201310706910.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25461 |
| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵永梅,季安,张明亮,等. 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其（701KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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