一种对激光镀层进行处理的系统 | |
林学春; 杨盈莹; 赵树森; 于海娟 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2013-02-13 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体器件 |
Application Date | 2012-09-14 |
Application Number | CN201210342365.3 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25412 |
Collection | 全固态光源实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 林学春,杨盈莹,赵树森,等. 一种对激光镀层进行处理的系统. |
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