一种氮化镓基外延膜的选区激光剥离方法 | |
梁萌; 杨华; 刘志强; 郭恩卿; 伊晓燕; 王军喜; 王国宏; 李晋闽 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2014-04-02 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体器件 |
Application Date | 2013-12-20 |
Application Number | CN201310713492.4 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25409 |
Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 梁萌,杨华,刘志强,等. 一种氮化镓基外延膜的选区激光剥离方法. |
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一种氮化镓基外延膜的选区激光剥离方法.p(631KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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