通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法 | |
付英春; 王晓峰; 张加勇; 白云霞; 梁秀琴; 马慧莉; 季安; 杨富华 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2012-07-25 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 微电子学 |
Application Date | 2012-03-22 |
Application Number | CN201210077661.5 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25377 |
Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 付英春,王晓峰,张加勇,等. 通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备方法. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
通用的多种材料间全限制纳米线的自对准制备(708KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment