| 非晶硅薄膜中间带材料及其制备方法 | |
| 曹权; 周天微; 左玉华; 王启明 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-07-04 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Application Date | 2012-03-29 |
| Application Number | CN201210088816.5 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25347 |
| Collection | 光电子研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 曹权,周天微,左玉华,等. 非晶硅薄膜中间带材料及其制备方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 非晶硅薄膜中间带材料及其制备方法.pdf（349KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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