| 介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法 | |
| 王春霞; 王真真; 阚强; 陈弘达 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-10-17 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Application Date | 2012-06-27 |
| Application Number | CN201210218494.1 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25294 |
| Collection | 光电子研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王春霞,王真真,阚强,等. 介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其（404KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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