SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其制备方法
李小明; 韩伟华; 张严波; 颜伟; 杜彦东; 陈燕坤; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-02-06
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2012-10-24
申请号CN201210408617.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25228
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
李小明,韩伟华,张严波,等. 一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其制备方法.
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一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其(1354KB) 限制开放使用许可请求全文
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