| 一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其制备方法 | |
| 李小明; 韩伟华; 张严波; 颜伟; 杜彦东; 陈燕坤; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-02-06 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2012-10-24 |
| Application Number | CN201210408617.8 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25228 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李小明,韩伟华,张严波,等. 一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其制备方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种基于体硅材料的无结硅纳米线晶体管及其（1354KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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