| 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 | |
| 康中波; 司朝伟; 宁瑾; 韩国威 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-04-03 ; 2013-04-03 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2012-12-13 |
| Application Number | CN201210539946.6 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25192 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 康中波,司朝伟,宁瑾,等. 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器.（456KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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