| 基于超声定位的激光加工装置及加工方法 | |
| 赵伟芳; 林学春; 于海娟; 李晋闽 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-03-20 ; 2013-03-20 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Application Date | 2012-11-12 |
| Application Number | CN201210450849.X |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25158 |
| Collection | 全固态光源实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 赵伟芳,林学春,于海娟,等. 基于超声定位的激光加工装置及加工方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 基于超声定位的激光加工装置及加工方法.p（309KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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