| 相变存储器器件工艺研究 | |
| 马慧莉 | |
| Subtype | 博士 |
| Thesis Advisor | 杨富华 ; 王晓峰 |
| 2013 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 微电子学与固体电子学 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Language | 中文 |
| Date Available | 2013-06-20 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24193 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 马慧莉. 相变存储器器件工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2013. |
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