| 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法; 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法 | |
| 陈熙; 樊中朝; 李宁; 宋国锋; 陈良惠 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法,包括以下步骤：步骤1：取一太阳能电池所用的外延片,对外延片进行清洗；步骤2：在外延片上旋涂光刻胶；步骤3：对光刻胶进行前烘,形成样品；步骤4：采用双光束干涉曝光设备,对样品两次曝光、显影,形成二维周期光刻胶掩膜图形；步骤5：对显影后的样品进行后烘；步骤6：对样品进行干法刻蚀；步骤7：去除光刻胶掩膜图形,完成蛾眼结构的制备。 |
| metadata_83 | 纳米光电子实验室 |
| Patent Number | CN102097535A |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201010573806.1 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23465 |
| Collection | 纳米光电子实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 陈熙,樊中朝,李宁,等. 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法, 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法. CN102097535A. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方（585KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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