| 增强纳米三明治品质因子的结构; 增强纳米三明治品质因子的结构 | |
| 付非亚; 王宇飞; 晏新宇; 刘安金; 周文君; 郑婉华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种增强纳米三明治品质因子的结构,包括：一下金属层；一介质层,该介质层制作在下金属层上；一上金属层,该上金属层制作在介质层上；其是通过降低纳米三明治腔体的非辐射损耗的途径,提高纳米三明治腔体品质因子。 |
| metadata_83 | 纳米光电子实验室 |
| Patent Number | CN102166845A |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201110022714.9 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23455 |
| Collection | 纳米光电子实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 付非亚,王宇飞,晏新宇,等. 增强纳米三明治品质因子的结构, 增强纳米三明治品质因子的结构. CN102166845A. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 增强纳米三明治品质因子的结构.pdf（364KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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