增强纳米三明治品质因子的结构; 增强纳米三明治品质因子的结构 | |
付非亚; 王宇飞; 晏新宇; 刘安金; 周文君; 郑婉华 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种增强纳米三明治品质因子的结构,包括:一下金属层;一介质层,该介质层制作在下金属层上;一上金属层,该上金属层制作在介质层上;其是通过降低纳米三明治腔体的非辐射损耗的途径,提高纳米三明治腔体品质因子。 |
metadata_83 | 纳米光电子实验室 |
Patent Number | CN102166845A |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN201110022714.9 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23455 |
Collection | 纳米光电子实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 付非亚,王宇飞,晏新宇,等. 增强纳米三明治品质因子的结构, 增强纳米三明治品质因子的结构. CN102166845A. |
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增强纳米三明治品质因子的结构.pdf(364KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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