SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
多孔阳极氧化铝生物芯片的制作方法; 多孔阳极氧化铝生物芯片的制作方法
韩伟静; 俞育德; 李运涛; 任鲁风; 周晓光; 于军; 孙英男
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09
Country中国
Subtype发明
Abstract 一种多孔阳极氧化铝生物芯片的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底,清洗,去除有机和无机杂质;步骤2:前烘,对衬底进行真空干燥;步骤3:在经过真空干燥的衬底表面蒸镀铝膜;步骤4:将表面镀有铝膜的衬底放入电解液中,进行第一次阳极氧化;步骤5:将第一次阳极氧化的衬底用磷酸和铬酸混合液浸泡,去除第一次阳极氧化产生的氧化铝膜,在铝膜的表面形成活性点;步骤6:对该铝膜进行第二次阳极氧化及扩孔处理,在铝膜的表面活性点处形成穿孔,得到多孔阳极氧化铝阵列芯片;步骤7:用等离子体处理该芯片表面;步骤8:将双官能团分子共价结合在该芯片表面,完成多孔阳极氧化铝生物芯片的制作。
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Language中文
Status公开
Application Number CN201110059461.2
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23429
Collection集成光电子学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
韩伟静,俞育德,李运涛,等. 多孔阳极氧化铝生物芯片的制作方法, 多孔阳极氧化铝生物芯片的制作方法.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
多孔阳极氧化铝生物芯片的制作方法.pdf(328KB) 限制开放LicenseApplication Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[韩伟静]'s Articles
[俞育德]'s Articles
[李运涛]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[韩伟静]'s Articles
[俞育德]'s Articles
[李运涛]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[韩伟静]'s Articles
[俞育德]'s Articles
[李运涛]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.