| 双环结构微纳生物传感器及其制作方法; 双环结构微纳生物传感器及其制作方法 | |
苏保青; 王春霞; 阚强; 李俊华; 解意洋 ; 王真真; 陈弘达
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种双环结构的微纳生物传感器,包括：一SOI基片,该SOI基片的顶层为顶层硅；一双环结构,该双环结构形成于SOI基片的顶层硅上；一输入波导和一输出波导,该输入波导和输出波导位于双环结构的两侧,并形成于SOI基片的顶层硅上；一U型微流通道,该U型微流通道扣置键合在双环结构上。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201110100110.1 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23421 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 苏保青,王春霞,阚强,等. 双环结构微纳生物传感器及其制作方法, 双环结构微纳生物传感器及其制作方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 双环结构微纳生物传感器及其制作方法.pd（350KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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