深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器及其制备方法; 深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器及其制备方法 | |
毛雪; 韩培德 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器,包括:一硅或SOI衬底;一第一掺杂层,制作在硅或SOI衬底上;一第二掺杂层,制作在第一掺杂层上;一迎光面介质钝化层,制作在第二掺杂层上;一第一金属电极,为E字形结构,该第一金属电极制作在第二掺杂层上;一第二金属电极,为E字形结构,该第二金属电极制作在第一掺杂层上。 |
metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN201110384199.9 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23410 |
Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 毛雪,韩培德. 深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器及其制备方法, 深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器及其制备方法. |
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深能级杂质掺杂的晶体硅红外探测器及其制备(560KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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