| 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法; 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法 | |
| 付英春; 王晓峰; 王晓东; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-09-07 ; 2012-06-13 ; 2012-09-07 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明公开了一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法,该方法包括：步骤1：清洗玻璃基底和柔性薄膜材料；步骤2：在该玻璃基底上滴加SU8光刻胶；步骤3：将该柔性薄膜材料的一侧接触该SU8光刻胶,并将该柔性薄膜材料从一侧到另外一侧赶平；步骤4：用一个平整面挤压该柔性薄膜材料,赶出多余的SU8光刻胶,并用丙酮擦除多余的SU8光刻胶；步骤5：用紫外光从玻璃基底背面曝光；步骤6：清洗并烘干。利用本发明,解决了在柔性薄膜材料表面进行微电子工艺加工的过程中,操作基底的平整度问题。 |
| metadata_83 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Application Date | 2011-11-30 |
| Patent Number | CN102496562A |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201110389683.0 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23341 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 付英春,王晓峰,王晓东,等. 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法, 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法. CN102496562A. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种将柔性薄膜材料粘附在玻璃基底上的方法（538KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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