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具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法
徐团伟; 李芳; 刘育梁
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2011-08-31
授权国家中国
专利类型发明
摘要一种具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法,包括:将可调谐激光器,被测光器件和光谱仪依次连接;设置可调谐激光器的波长扫描范围,步长以及每个波长的保持时间,设置光谱仪的波长范围,分辨率和扫描时间;进行第一次扫描,获得被测光器件的整体光谱图;选择所需测量光谱的细节处,以细节处的起始和终止波长来设置可调谐激光器的波长扫描范围,降低可调谐激光器的步长至所需要的分辨率,选取细节处的中间波长作为光谱仪的中心波长,并适当设置光谱仪的分辨率;进行第二次扫描,从光谱仪中记录可调谐激光器每个波长对应的光功率值;建立直角坐标系,以可调谐激光器扫描过的波长为横轴,以光功率为纵轴,逐点绘出每个波长对应的光功率,即可得到细节处的光谱信息。
部门归属光电系统实验室
专利号CN200910084160.8
语种中文
专利状态公开
申请号CN200910084160.8
专利代理人汤保平
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22551
专题光电系统实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
徐团伟,李芳,刘育梁. 具有大动态范围和高分辨率的光谱测量方法. CN200910084160.8.
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