电压调制型中长波双色量子阱红外探测器及其制作方法; 电压调制型中长波双色量子阱红外探测器及其制作方法 | |
霍永恒; 马文全; 种明; 张艳华; 陈良惠 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-31 ; 2011-08-31 ; 2011-08-31 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种电压调制型中长波双色量子阱红外探测器,包括:一半绝缘半导体GaAs衬底;一第一半导体GaAs接触层,制作在半绝缘半导体GaAs衬底上;一第一多量子阱红外探测器,制作在第一半导体GaAs接触层上,在第一半导体GaAs接触层的一侧形成一台面;一第二半导体GaAs接触层,制作在第一多量子阱红外探测器上;一第二多量子阱红外探测器,制作在第二半导体GaAs接触层上;一第三半导体GaAs接触层,制作在第二多量子阱红外探测器上;一上接触电极和下接触电极,分别制作在第三半导体GaAs接触上和第一半导体GaAs接触层形成的台面上。 |
metadata_83 | 纳米光电子实验室 |
Patent Number | CN200910081984.X |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN200910081984.X |
Patent Agent | 汤保平 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22453 |
Collection | 纳米光电子实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 霍永恒,马文全,种明,等. 电压调制型中长波双色量子阱红外探测器及其制作方法, 电压调制型中长波双色量子阱红外探测器及其制作方法. CN200910081984.X. |
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