SEMI OpenIR  > 纳米光电子实验室
10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器及其制作方法
刘小宇; 马文全; 张艳华; 种明
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-31
Country中国
Subtype发明
Abstract本发明提供一种10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器的制作方法,包括如下步骤:(A)将一衬底烘干、脱氧,以其作为量子阱红外探测器的承载体;(B)利用外延设备在衬底上依次生长N型掺杂的下欧姆接触层、量子阱层,以及N型掺杂的上欧姆接触层;(C)采用光刻及湿法刻蚀技术,将量子阱层及上欧姆接触层的一侧刻蚀,使下欧姆接触层的一侧形成一台面;(D)采用机械抛光的方法,将衬底及下欧姆接触层远离台面的一侧抛成45°抛角,形成入射光窗口;(E)烘干;(F)在上欧姆接触层的表面压焊第一n型电极;(G)在下欧姆接触层一侧形成的台面上压焊第二n型电极。
metadata_83纳米光电子实验室
Patent NumberCN201010171382.6
Language中文
Status公开
Application NumberCN201010171382.6
Patent Agent汤保平
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22435
Collection纳米光电子实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
刘小宇,马文全,张艳华,等. 10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器及其制作方法. CN201010171382.6.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
CN201010171382.6.pdf(355KB) 限制开放--Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[刘小宇]'s Articles
[马文全]'s Articles
[张艳华]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[刘小宇]'s Articles
[马文全]'s Articles
[张艳华]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[刘小宇]'s Articles
[马文全]'s Articles
[张艳华]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.