10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器及其制作方法 | |
刘小宇; 马文全![]() ![]() | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-31 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 本发明提供一种10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器的制作方法,包括如下步骤:(A)将一衬底烘干、脱氧,以其作为量子阱红外探测器的承载体;(B)利用外延设备在衬底上依次生长N型掺杂的下欧姆接触层、量子阱层,以及N型掺杂的上欧姆接触层;(C)采用光刻及湿法刻蚀技术,将量子阱层及上欧姆接触层的一侧刻蚀,使下欧姆接触层的一侧形成一台面;(D)采用机械抛光的方法,将衬底及下欧姆接触层远离台面的一侧抛成45°抛角,形成入射光窗口;(E)烘干;(F)在上欧姆接触层的表面压焊第一n型电极;(G)在下欧姆接触层一侧形成的台面上压焊第二n型电极。 |
metadata_83 | 纳米光电子实验室 |
Patent Number | CN201010171382.6 |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN201010171382.6 |
Patent Agent | 汤保平 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22435 |
Collection | 纳米光电子实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 刘小宇,马文全,张艳华,等. 10-14微米同时响应的双色量子阱红外探测器及其制作方法. CN201010171382.6. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
CN201010171382.6.pdf(355KB) | 限制开放 | -- | Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment