| 一种复合膜片压力传感器结构 | |
| 王晓东; 樊中朝; 季安; 邢波; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-31 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种复合膜片压力传感器结构，包括：一单晶硅层，该单晶硅层的一面为凹型；一多孔硅层，该多孔硅层生长在单晶硅层凹型的内表面。本发明在不影响低量程传感器灵敏度的前提下，采用多孔硅和单晶硅复合膜片，减小膜片的非线性形变，从而减小膜片挠度，最终达到提高低量程传感器灵敏度或降低非线性的目的。 |
| metadata_83 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Patent Number | CN200810224110.0 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN200810224110.0 |
| Patent Agent | 汤保平 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22417 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王晓东,樊中朝,季安,等. 一种复合膜片压力传感器结构. CN200810224110.0. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN200810224110.0.pdf（289KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment