| 平面相变存储器的制备方法 | |
张加勇; 王晓峰; 马慧莉 ; 程凯芳; 王晓东; 杨富华
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-31 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种平面相变存储器的制备方法，包括：在衬底上依次生长一层电热绝缘材料层，相变材料层和基底材料层；去除基底材料层的四边，形成基底；在相变材料层的上面和基底材料层的表面及侧面淀积侧墙材料层；去除基底材料层上表面的和相变材料层表面的侧墙材料层，在基底材料层的侧面将形成高和宽均为纳米尺寸的侧墙；去除基底材料层，只保留纳米尺寸的侧墙；去掉除了侧墙底部以外的所有相变材料，从而形成由侧墙和相变材料层构成的叠层侧墙；在该侧墙的一条边上搭上一条制作电极的金属层；去除侧墙以及侧墙表面上的金属层，从而形成中间夹有相变材料层的nano-gap电极；最后淀积一层绝缘材料，再在nano-gap电极两边的金属层上开孔并引出电极，完成平面相变存储器的制作。 |
| metadata_83 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Patent Number | CN201010283557.2 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201010283557.2 |
| Patent Agent | 汤保平 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22347 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张加勇,王晓峰,马慧莉,等. 平面相变存储器的制备方法. CN201010283557.2. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN201010283557.2.pdf（578KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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