一种制备高速电吸收调制器的方法 | |
张伟; 潘教青; 汪洋; 朱洪亮 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2011-08-31 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
摘要 | 本发明公开了一种制备高速电吸收调制器的方法,采用量子阱混杂方法,一次外延生长实现有源波导与无源波导集成,同时采用行波电极以进一步提高调制速率,具有高调制速率、低插入损耗、高光饱和吸收功率和偏振不灵敏等特性。 |
部门归属 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
专利号 | CN200810225782.3 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN200810225782.3 |
专利代理人 | 周国城 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22293 |
专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张伟,潘教青,汪洋,等. 一种制备高速电吸收调制器的方法. CN200810225782.3. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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