| 用于电子束蒸发薄膜的样品夹具 | |
| 刘万峰; 王利军; 刘峰奇; 王占国 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-31 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明公开了一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，包括：一挡片，该挡片主体为长方体，在该挡片的一侧面开有一凹槽，用以固定样品一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔，用以将挡片固定在样品托上；一样品托，该样品托具有一供挡片滑动的凹槽，且该样品托中间有一方形通孔，该方形通孔两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔，以便于用螺丝将挡片和样品托固定在一起，样品被夹在挡片的凹槽和样品托之间。本发明提供的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，能够固定不同大小的样品，只要样品有一边整齐就可以固定牢靠，可以适用于尺寸变化大，边缘不规则的薄样品，而且装卸方便。 |
| metadata_83 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Patent Number | CN200810240352.9 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN200810240352.9 |
| Patent Agent | 周国城 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22291 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘万峰,王利军,刘峰奇,等. 用于电子束蒸发薄膜的样品夹具. CN200810240352.9. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN200810240352.9.pdf（347KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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