光伏型InAs量子点红外探测器结构 | |
唐光华; 徐波; 叶小玲![]() ![]() ![]() | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-31 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种光伏型InAs量子点红外探测器结构,包括:一GaAs衬底;一GaAs底接触层制作在重掺杂或半绝缘GaAs衬底上;一未掺杂的下GaAs隔离层制作在GaAs底接触层上面的一侧,在GaAs底接触层的另一侧形成一台面;一5-100个周期的InAs/AlGaAs/GaAs结构层制作在未掺杂的下GaAs隔离层上,该5-100个周期的InAs/AlGaAs/GaAs结构层是实现红外探测的核心部位;一GaAs顶接触层制作在5-100个周期的InAs/AlGaAs/GaAs结构层上;该GaAs顶接触层进行高浓度掺杂从而实现与电极材料的欧姆接触;一上电极制作在GaAs顶接触层的中间部位;一下电极制作在GaAs底接触层上的台面上,该下电极可以收集电子,输出电流或电压信号;所述上电极与下电极一起能构成探测器检测回路。 |
metadata_83 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Patent Number | CN200910242347.6 |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN200910242347.6 |
Patent Agent | 汤保平 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22237 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 唐光华,徐波,叶小玲,等. 光伏型InAs量子点红外探测器结构. CN200910242347.6. |
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