| 金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法 | |
魏同波 ; 王军喜; 路红喜; 刘乃鑫; 曾一平; 李晋闽
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-31 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明提供一种金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法，包括如下步骤：步骤1：用溅射或者蒸发的方法在p型氮化物样品表面沉积一层金属薄层；步骤2：对沉积金属薄层的p型氮化物进行退火；步骤3：用酸溶液去除p型氮化物样品表面的金属薄层；步骤4：用去离子水对去除了金属薄层的p型氮化物样品表面清洗干净。 |
| metadata_83 | 中科院半导体照明研发中心 |
| Patent Number | CN201010514077.2 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201010514077.2 |
| Patent Agent | 汤保平 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22125 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 魏同波,王军喜,路红喜,等. 金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法. CN201010514077.2. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN201010514077.2.pdf（304KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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