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光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法; 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法
冯小明; 赵懿昊; 祁琼; 刘素平; 马骁宇
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2011-08-30 ; 2011-08-30 ; 2011-08-30
授权国家中国
专利类型发明
摘要一种光纤侧圆柱面镀膜旋转装置,包括:一平圆盘,该平圆盘的中心固定一中心轴;一公转件,该公转件为一筒状,套置于平圆盘的中心轴上,该公转件靠近平圆盘的一端横置有多个水平支杆,所述水平支杆的端部枢接有自转件,该自转件与平圆盘的表面摩擦接触;上述部件置于一镀膜室中,在镀膜室中还放置有坩锅,其中每个自转件与待镀光纤连接,当所述公转件转动时带动与平圆盘表面摩擦接触的自转件转动。
部门归属光电子器件国家工程中心
申请日期2009-11-25
专利号CN200910241547.X
语种中文
专利状态公开
申请号CN200910241547.X
专利代理人汤保平
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22103
专题光电子器件国家工程中心
推荐引用方式
GB/T 7714
冯小明,赵懿昊,祁琼,等. 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法, 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法. CN200910241547.X.
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