光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法; 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法 | |
冯小明; 赵懿昊; 祁琼; 刘素平; 马骁宇 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-30 ; 2011-08-30 ; 2011-08-30 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种光纤侧圆柱面镀膜旋转装置,包括:一平圆盘,该平圆盘的中心固定一中心轴;一公转件,该公转件为一筒状,套置于平圆盘的中心轴上,该公转件靠近平圆盘的一端横置有多个水平支杆,所述水平支杆的端部枢接有自转件,该自转件与平圆盘的表面摩擦接触;上述部件置于一镀膜室中,在镀膜室中还放置有坩锅,其中每个自转件与待镀光纤连接,当所述公转件转动时带动与平圆盘表面摩擦接触的自转件转动。 |
metadata_83 | 光电子器件国家工程中心 |
Application Date | 2009-11-25 |
Patent Number | CN200910241547.X |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN200910241547.X |
Patent Agent | 汤保平 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22103 |
Collection | 光电子器件国家工程中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 冯小明,赵懿昊,祁琼,等. 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法, 光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法. CN200910241547.X. |
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光纤侧圆柱面镀膜旋转装置及方法.pdf(274KB) | 限制开放 | -- | Application Full Text |
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