| 基于氮化镓材料的新型结构紫外双色探测器 |
| 张爽; 赵德刚; 刘文宝; 孙苋; 刘宗顺; 张书明; 朱建军; 王辉; 段俐宏; 杨辉
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专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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公开日期 | 2011-08-30
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明
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摘要 | 一种基于氮化镓材料的新型结构紫外双色探测器,包括:一衬底;一N型欧姆接触层,该N型欧姆接触层制作在衬底上;一I型有源层,该I型有源层制作在N型欧姆接触层上面的中间,该I型有源层的面积小于N型欧姆接触层的面积,使N型欧姆接触层的两侧各形成一台面;一P型有源层,该P型有源层制作在I型有源层上;两N型欧姆电极,该两N型欧姆电极分别制作在N型欧姆接触层上面两侧的台面上;一肖特基电极,该肖特基电极制作在P型有源层上。 |
部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
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专利号 | CN200910085926.4
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语种 | 中文
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专利状态 | 公开
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申请号 | CN200910085926.4
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专利代理人 | 汤保平
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22055
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专题 | 集成光电子学国家重点实验室
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
张爽,赵德刚,刘文宝,等. 基于氮化镓材料的新型结构紫外双色探测器. CN200910085926.4.
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