| 一种制备薄膜材料的方法 | |
俞育德; 李运涛 ; 余金中; 陈诺夫; 俞海龙
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明公开了一种制备薄膜材料的方法，包括：步骤1：将制备薄膜的材料粉末置于粉仓中；步骤2：将带有电极极性的感光鼓置于粉仓上，通过静电的吸附作用将材料粉末吸附于感光鼓上；步骤3：将吸附有材料粉末的感光鼓置于一材料基底的上方；步骤4：感光鼓放电，使粉末均匀地分布于材料基底的表面；步骤5：对材料基底表面的材料粉末进行结晶化处理，在材料基底的表面形成薄膜材料。利用本发明，工艺成熟、制作成本低，比现行的方法至少低一个数量级。另外，本发明借鉴了静电压印技术，技术成熟度高。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Patent Number | CN200910090350.0 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN200910090350.0 |
| Patent Agent | 周国城 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22045 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 俞育德,李运涛,余金中,等. 一种制备薄膜材料的方法. CN200910090350.0. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN200910090350.0.pdf（247KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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