| 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法 |
| 李运涛 ; 俞海龙; 徐海华; 俞育德; 余金中
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2011-08-30
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 本发明公开了一种制备具有微反应池的生物芯片的方法，该方法包括：清洗衬底；制备掩膜板，在掩膜板上制备微反应池图形；涂光刻胶；光刻、显影、去胶；刻蚀衬底；芯片表面处理。本发明提供的这种制备具有微反应池的生物芯片的方法，工艺成熟，制作成本低，采用一块掩膜板模板就可以批量制作，可重复性好，适合于规模商品化生产，制作出的生物芯片微反应池孔径均匀，芯片表面可以再修饰。 |
| 部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
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| 专利号 | CN200910091401.1
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN200910091401.1
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| 专利代理人 | 周国城
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22043
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| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李运涛,俞海龙,徐海华,等. 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法. CN200910091401.1.
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