| 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法 | |
李运涛 ; 俞海龙; 徐海华; 俞育德; 余金中
| |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明公开了一种制备具有微反应池的生物芯片的方法，该方法包括：清洗衬底；制备掩膜板，在掩膜板上制备微反应池图形；涂光刻胶；光刻、显影、去胶；刻蚀衬底；芯片表面处理。本发明提供的这种制备具有微反应池的生物芯片的方法，工艺成熟，制作成本低，采用一块掩膜板模板就可以批量制作，可重复性好，适合于规模商品化生产，制作出的生物芯片微反应池孔径均匀，芯片表面可以再修饰。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Patent Number | CN200910091401.1 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN200910091401.1 |
| Patent Agent | 周国城 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22043 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李运涛,俞海龙,徐海华,等. 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法. CN200910091401.1. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN200910091401.1.pdf（300KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment