一种制备具有微反应池的生物芯片的方法 | |
李运涛![]() | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-30 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 本发明公开了一种制备具有微反应池的生物芯片的方法,该方法包括:清洗衬底;制备掩膜板,在掩膜板上制备微反应池图形;涂光刻胶;光刻、显影、去胶;刻蚀衬底;芯片表面处理。本发明提供的这种制备具有微反应池的生物芯片的方法,工艺成熟,制作成本低,采用一块掩膜板模板就可以批量制作,可重复性好,适合于规模商品化生产,制作出的生物芯片微反应池孔径均匀,芯片表面可以再修饰。 |
metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
Patent Number | CN200910091401.1 |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN200910091401.1 |
Patent Agent | 周国城 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22043 |
Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 李运涛,俞海龙,徐海华,等. 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法. CN200910091401.1. |
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