SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
一种制备具有微反应池的生物芯片的方法
李运涛; 俞海龙; 徐海华; 俞育德; 余金中
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-30
Country中国
Subtype发明
Abstract本发明公开了一种制备具有微反应池的生物芯片的方法,该方法包括:清洗衬底;制备掩膜板,在掩膜板上制备微反应池图形;涂光刻胶;光刻、显影、去胶;刻蚀衬底;芯片表面处理。本发明提供的这种制备具有微反应池的生物芯片的方法,工艺成熟,制作成本低,采用一块掩膜板模板就可以批量制作,可重复性好,适合于规模商品化生产,制作出的生物芯片微反应池孔径均匀,芯片表面可以再修饰。
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Patent NumberCN200910091401.1
Language中文
Status公开
Application NumberCN200910091401.1
Patent Agent周国城
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22043
Collection集成光电子学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
李运涛,俞海龙,徐海华,等. 一种制备具有微反应池的生物芯片的方法. CN200910091401.1.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
CN200910091401.1.pdf(300KB) 限制开放--Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[李运涛]'s Articles
[俞海龙]'s Articles
[徐海华]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[李运涛]'s Articles
[俞海龙]'s Articles
[徐海华]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[李运涛]'s Articles
[俞海龙]'s Articles
[徐海华]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.