| 气体传感气室; 气体传感气室 | |
| 鞠昱; 王欣; 孙可; 袁海庆; 谢亮; 祝宁华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-30 ; 2011-08-30 ; 2011-08-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种气体传感气室，包括：一圆筒形气腔，其中间段镂空，在圆柱的壁面形成三个矩形开口；一前盖，该前盖为圆盘形状，该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端；一后盖，该后盖为圆盘形状，该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Patent Number | CN200910236387.X |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN200910236387.X |
| Patent Agent | 汤保平 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22023 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 鞠昱,王欣,孙可,等. 气体传感气室, 气体传感气室. CN200910236387.X. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 气体传感气室.pdf（347KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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