气体传感气室; 气体传感气室 | |
鞠昱; 王欣; 孙可; 袁海庆; 谢亮; 祝宁华 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-30 ; 2011-08-30 ; 2011-08-30 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 一种气体传感气室,包括:一圆筒形气腔,其中间段镂空,在圆柱的壁面形成三个矩形开口;一前盖,该前盖为圆盘形状,该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端;一后盖,该后盖为圆盘形状,该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。 |
metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
Patent Number | CN200910236387.X |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN200910236387.X |
Patent Agent | 汤保平 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22023 |
Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 鞠昱,王欣,孙可,等. 气体传感气室, 气体传感气室. CN200910236387.X. |
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气体传感气室.pdf(347KB) | 限制开放 | -- | Application Full Text |
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