SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
气体传感气室; 气体传感气室
鞠昱; 王欣; 孙可; 袁海庆; 谢亮; 祝宁华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2011-08-30 ; 2011-08-30 ; 2011-08-30
授权国家中国
专利类型发明
摘要一种气体传感气室,包括:一圆筒形气腔,其中间段镂空,在圆柱的壁面形成三个矩形开口;一前盖,该前盖为圆盘形状,该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端;一后盖,该后盖为圆盘形状,该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。
部门归属集成光电子学国家重点实验室
专利号CN200910236387.X
语种中文
专利状态公开
申请号CN200910236387.X
专利代理人汤保平
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22023
专题集成光电子学国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
鞠昱,王欣,孙可,等. 气体传感气室, 气体传感气室. CN200910236387.X.
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