| 一种基于键合技术制作微波传输线的方法 | |
张岭梓 ; 曹权; 左玉华; 王启明
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明公开了一种基于键合技术制作微波传输线的方法，该方法包括：采用键合技术将外延片的外延材料层与键合基片键合在一起；去除外延片的衬底，露出外延片的外延材料层；对外延片的外延材料层进行刻蚀，制作外延器件，将微波传输线制作区域刻蚀至键合界面；在键合界面上制作作为电极传输线的微波传输线。利用本发明，在实现硅基器件集成的同时，可以更容易地制作高质量的微波传输线。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Patent Number | CN200910237093.9 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN200910237093.9 |
| Patent Agent | 周国城 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22015 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张岭梓,曹权,左玉华,等. 一种基于键合技术制作微波传输线的方法. CN200910237093.9. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN200910237093.9.pdf（256KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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