| 带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器及其制作方法 | |
朱宇; 李智勇 ; 俞育德; 余金中
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 一种带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器，所述耦合器采用绝缘体上的硅材料，包括：一硅衬底；一限制层，该限制层制作在硅衬底上；一顶硅层，该顶硅层制作在限制层上，在该顶硅层的表面制作有衍射光栅，在衍射光栅的一侧制作有反射光栅，在衍射光栅的另一侧为锥形波导，该锥形波导长度大于80μm，与锥形波导连接处为亚微米波导；一光纤，该光纤的一端靠近顶硅层上的衍射光栅。 |
| metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Patent Number | CN201010121744.0 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201010121744.0 |
| Patent Agent | 汤保平 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21955 |
| Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 朱宇,李智勇,俞育德,等. 带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器及其制作方法. CN201010121744.0. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN201010121744.0.pdf（421KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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