一种紫外红外双色探测器及制作方法 | |
刘宗顺; 赵德刚; 朱建军; 张书明; 王辉; 江德生; 杨辉 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2011-08-30 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Abstract | 本发明公开了一种紫外红外双色探测器及制作方法。该紫外红外双色探测器包括:一衬底,在该衬底上进行紫外红外双色探测器用材料结构的生长;一缓冲层,生长在衬底之上;一第一n型欧姆接触层,生长在缓冲层之上,用于欧姆接触;由相互交替生长的第一本征层与重掺杂n型层构成的多周期层;一第二n型欧姆接触层,生长在多周期层之上,部分区域作为n型欧姆接触电极用;一禁带宽度为Eg3的本征层,生长在第二n型欧姆接触层之上,且Eg3≤Eg2;一透明电极,形成于禁带宽度为Eg3的本征层之上;一上电极,形成于透明电极上一小区域;一中电极,形成于第二n型欧姆接触层的电极窗口;以及一下电极,形成于第一n型欧姆接触层的电极窗口。 |
metadata_83 | 集成光电子学国家重点实验室 |
Patent Number | CN201010183403.6 |
Language | 中文 |
Status | 公开 |
Application Number | CN201010183403.6 |
Patent Agent | 周国城 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21927 |
Collection | 集成光电子学国家重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 刘宗顺,赵德刚,朱建军,等. 一种紫外红外双色探测器及制作方法. CN201010183403.6. |
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