SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
一种紫外红外双色探测器及制作方法
刘宗顺; 赵德刚; 朱建军; 张书明; 王辉; 江德生; 杨辉
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-30
Country中国
Subtype发明
Abstract本发明公开了一种紫外红外双色探测器及制作方法。该紫外红外双色探测器包括:一衬底,在该衬底上进行紫外红外双色探测器用材料结构的生长;一缓冲层,生长在衬底之上;一第一n型欧姆接触层,生长在缓冲层之上,用于欧姆接触;由相互交替生长的第一本征层与重掺杂n型层构成的多周期层;一第二n型欧姆接触层,生长在多周期层之上,部分区域作为n型欧姆接触电极用;一禁带宽度为Eg3的本征层,生长在第二n型欧姆接触层之上,且Eg3≤Eg2;一透明电极,形成于禁带宽度为Eg3的本征层之上;一上电极,形成于透明电极上一小区域;一中电极,形成于第二n型欧姆接触层的电极窗口;以及一下电极,形成于第一n型欧姆接触层的电极窗口。
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Patent NumberCN201010183403.6
Language中文
Status公开
Application NumberCN201010183403.6
Patent Agent周国城
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21927
Collection集成光电子学国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
刘宗顺,赵德刚,朱建军,等. 一种紫外红外双色探测器及制作方法. CN201010183403.6.
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