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| 一种制备用于太阳能电池窗口层的CdS薄膜的方法 | |
李京波 ; 朱峰
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2011-08-30 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明薄膜太阳能电池制备技术领域，公开了一种制备用于太阳能电池窗口层的CdS薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1：利用超声波仪器和化学洗剂将浮法玻璃表面清洗干净，并利用氢氟酸刻蚀法去除其表面的氧化层；步骤2：将清洗干净的浮法玻璃放入沉积设备中，沉积透明电极层；步骤3：将沉积了透明电极层的基片用化学试剂超声清洗；步骤4：将清洗干净的基片放入生长设备中，生长CdS薄膜，完成太阳能电池CdS窗口层的制备。利用本发明，提高了器件的性能，可以利用该CdS薄膜制备大面积、低成本的太阳电池及其他光学器件，使CdS薄膜中杂质浓度降低，增强了CdS薄膜的质量。 |
| metadata_83 | 半导体超晶格国家重点实验室 |
| Patent Number | CN200910241693.2 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN200910241693.2 |
| Patent Agent | 周国城 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21855 |
| Collection | 半导体超晶格国家重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李京波,朱峰. 一种制备用于太阳能电池窗口层的CdS薄膜的方法. CN200910241693.2. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN200910241693.2.pdf（747KB） | 限制开放 | -- | Application Full Text | |||
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