| 异质衬底多晶硅籽晶层制备及关键问题研究 | |
黄添懋
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| Subtype | 博士 |
| Thesis Advisor | 陈诺夫 |
| 2011 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 材料物理与化学 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Date Available | 2011-06-02 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20733 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 黄添懋. 异质衬底多晶硅籽晶层制备及关键问题研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2011. |
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| 黄添懋_异质衬底多晶硅籽晶层制备及关键问（6991KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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