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硅微机械陀螺仪的稳定性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:  刘楠
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Mems 陀螺仪  稳定性  介质电荷  温度补偿  
无权访问的条目 学位论文
作者:  王凤翔
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无权访问的条目 学位论文
作者:  赵继聪
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无权访问的条目 学位论文
作者:  吕兴东
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无权访问的条目 学位论文
作者:  何欢
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无权访问的条目 学位论文
作者:  廖驹
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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵晖
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参考频率源  Mems 谐振器  高阶谐振模态  振荡器  温度补偿