SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
硅微机械陀螺仪的稳定性研究
刘楠
学位类型硕士
导师宁瑾
2018-05-25
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词Mems 陀螺仪 稳定性 介质电荷 温度补偿
公开日期2018-06-15
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28646
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
刘楠. 硅微机械陀螺仪的稳定性研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2018.
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